New types of silicon torsion microspring and their characterization

Autor(en)

Werner Brenner, Gh. Haddad, Harald Rennhofer, Marcus Rennhofer, Aleksandar Vujanic, Gordana Popovic

Organisation(en)

Dynamik Kondensierter Systeme

Externe Organisation(en)

Technische Universität Wien

Band

4019

Seiten

463-470

Anzahl der Seiten

7

DOI

https://doi.org/10.1117/12.382305

Publikationsdatum

2000

ÖFOS 2012

1030 Physik, Astronomie

Link zum Portal

https://ucrisportal.univie.ac.at/de/publications/new-types-of-silicon-torsion-microspring-and-their-characterization(79c83bf9-6bd2-4e9f-abbc-12cbe9577008).html